Si tratta del sistema Parylene. È un sistema modulare diviso in due parti: modulo camera e modulo evaporatore.
Dimensioni: -
L: 2600 mm L: 960 H: 1460 mm
Peso: -
~ 450 KG
Volume: -
800 / 1000 litri
Camera di processo: -
1150 mm Ø H: 600 mm (800 litri), 1000 mm Ø H: 1100
Sorgente di plasma: -
2,45GHz, 1200 Watt
Incluso: -
1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali possibili
Sistema di raffreddamento: -
8 litri (Cool-trap elettromeccanico)
Connessione al vuoto: -
DIN 63 ISO-KF
Sfiato: -
elettrovalvola elettromagnetica
Sistema di pompaggio: -
75m³/h
Collegamento elettrico: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
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