Un sistema multicamera alimentato da robot per i processi di rivestimento più complessi in un ambiente a bassa pressione.
Dimensioni: -
L: 2000 mm L: 1800 mm H: 2000 mm
Peso: -
~ 320 KG
Volume: -
50 litri
3 camere di processo: -
VA L:300 L:300 H:300
Sorgente di plasma: -
2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
Incluso: -
3x3 canali di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo)
In aggiunta: -
robot per il blocco dell'aria, esempio di supporto del substrato per il blocco dell'aria
Supporto del substrato (opzionale): -
Alluminio, possibilità di progettazione personalizzata
Connessione al vuoto: -
DN 63 ISO-KF
Sfiato: -
elettrovalvola elettromagnetica
3 Sistemi di pompaggio: -
40m³/h
Porta della camera: -
Porte della camera di manutenzione
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