Sistema di rivestimento sottovuoto

Sistema di rivestimento sottovuoto - Plasma Parylene Systems
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Caratteristiche

Specificazioni
sottovuoto

Descrizione

Un sistema multicamera alimentato da robot per i processi di rivestimento più complessi in un ambiente a bassa pressione. Dimensioni: - L: 2000 mm L: 1800 mm H: 2000 mm Peso: - ~ 320 KG Volume: - 50 litri 3 camere di processo: - VA L:300 L:300 H:300 Sorgente di plasma: - 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt Incluso: - 3x3 canali di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo) In aggiunta: - robot per il blocco dell'aria, esempio di supporto del substrato per il blocco dell'aria Supporto del substrato (opzionale): - Alluminio, possibilità di progettazione personalizzata Connessione al vuoto: - DN 63 ISO-KF Sfiato: - elettrovalvola elettromagnetica 3 Sistemi di pompaggio: - 40m³/h Porta della camera: - Porte della camera di manutenzione

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