Sistema di rivestimento sottovuoto 3000 RR

Sviluppato per applicazioni che devono essere eseguite in camere bianche. Assemblaggio modulare e dimensioni variabili delle camere. Innumerevoli opzioni, come tavole girevoli o supporti diversi per i substrati. Il caricamento della camera di processo avviene dalla camera bianca. Lo scarico avviene attraverso la porta della camera di compensazione nella camera grigia. Dimensioni: - L: 2095 mm L: 800 H: 1450 mm Peso: - ~ 300 KG Volume: - 140 / 200 / 300 litri Camera di processo: - 500mm Ø H: 700mm (140 litri), 600mm Ø / H: 700mm (200 litri), 700mm Ø, H: 800mm (300 litri) Sorgente di plasma: - 2,45GHz, 1200 Watt Incluso: - 1 canale di gas (sistema di distribuzione del gas all'interno della camera di processo), fino a 3 canali possibili Sistema di raffreddamento: - 8 litri (Cool-trap elettromeccanico) Connessione al vuoto: - DIN 40 ISO-KF Sfiato: - elettrovalvola elettromagnetica Sistema di pompaggio: - 75m³/h Collegamento elettrico: - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW