Amplificatore di tensione ECA

di commutazionead alta tensionebipolare

Applicazione tipica: Movimentazione elettrostatica dei materiali, lavorazione dei wafer di semiconduttori, trasferimento non meccanico di lastre piane o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica La serie ECA è costituita da amplificatori ad alta tensione per mandrini elettrostatici (E-Chuck, ESC). Oltre alla commutazione di polarità e alla messa a terra forzata, questa serie offre anche un sistema di monitoraggio dei wafer per le esigenze di ispezione degli stessi. Inoltre, grazie a un'ampia gamma di tensioni, la serie supporta i mandrini elettrostatici di Coulomb e Johnsen-Rahbek. Caratteristiche e vantaggi: Rilevamento affidabile dello stato di bloccaggio/rilascio da parte del sensore del wafer Rapida risposta dell'architettura dell'amplificatore (design "senza inversione di polarità del relè" per un'elevata affidabilità e una lunga durata) "Controllo indipendente a doppio canale (opzione)" e "impostazione della tensione di spillamento centrale (opzione)" per varie operazioni di serraggio/rilascio Dotato di interfaccia digitale LAN, USB e RS-232C Filtro RF passa-basso incorporato (13,56 MHz) TA opzionale Bias di regolazione centrale da 0 a ±[tensione massima del tasso - set point di tensione] ET opzionale Interfaccia Ethernet CAT Opzionale DS Controllo indipendente a doppio canale Opzionale AC Ingresso AC da 100V a 240V 1 φ Opzionale L7 Cavo di uscita ad alta tensione 7 m x 3 (2 quando si seleziona CT o DS)