Applicazioni:
Movimentazione elettrostatica dei materiali, lavorazione di wafer di semiconduttori, trasferimento non meccanico di lastre piane o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica
La serie EC di Wisman di alimentatori elettrostatici a ventosa guidati dal software offre una serie di funzioni per soddisfare un'ampia gamma di applicazioni esigenti. Lo strumento utilizza la tecnologia degli amplificatori Wisman, che ha dimostrato di aumentare l'efficienza e la produttività fino a tre volte rispetto ad altre fonti di alimentazione. Riduzione degli errori di gas sul retro, miglioramento della produttività ed eliminazione dei problemi di wafer stick/burst; controllo di parametri quali sovracorrente, presenza di wafer e soglie di clamp, tensione di clamp, tensione di offset e controlli di ampiezza/offset interni o esterni; versatilità del controllo dell'ampiezza/offset e dell'uscita durante la regolazione; controllo dell'uscita tramite I/O del pannello posteriore, comandi seriali del computer o controlli del pannello anteriore; configurazione di sequenze e forme d'onda personalizzate di clamp e rimozione del clamp. Le prestazioni versatili e affidabili dell'EC di Wisman ne consentono l'uso in più strumenti e processi unici, senza aggiungere nuovi costi a ogni strumento o processo unico dell'impianto.
Caratteristiche del prodotto:
Interfaccia di controllo con pannello frontale bloccabile;
Ogni unità viene fornita con un certificato di calibrazione tracciabile;
Supporta le tecnologie Coulombic e Johnsen-Rahbek ESC;
Questa sezione descrive come caricare il file di configurazione di un mandrino elettrostatico sul dispositivo e memorizzarlo nel dispositivo utilizzando un'interfaccia software di facile utilizzo;
Il rilevamento del wafer include lo stato di wafer libero, presenza o bloccaggio del wafer;
Caratteristiche:
Ingresso: DC24V, 2A;
Uscita:
Fase di uscita
Visualizzazione della tensione:
Rapporto: 1V/ 200 V
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