Alimentatore elettrico DC/DC ECD

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Aree di applicazione: Movimentazione elettrostatica dei materiali, lavorazione di wafer di semiconduttori, trasferimento non meccanico di lastre piane o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica. Gli alimentatori per mandrini elettrostatici della serie ECD di Wisman, guidati da software, offrono una serie di caratteristiche in grado di soddisfare un'ampia gamma di applicazioni esigenti. Lo strumento incorpora la tecnologia degli amplificatori Wisman, che ha dimostrato di aumentare l'efficienza e la produttività fino a tre volte rispetto ad altri alimentatori. Riducete gli errori di gas sul retro, aumentate la produttività ed eliminate i problemi di incollaggio/popping dei wafer; controllate parametri come la sovracorrente, la presenza di wafer e le soglie di clamp, la tensione di clamp, la tensione di offset e il controllo interno o esterno dell'ampiezza/offset; versatilità nel controllo dell'ampiezza/offset e dell'uscita durante la regolazione; controllate l'uscita utilizzando gli I/O del pannello posteriore, i comandi seriali del computer o i controlli del pannello anteriore; configurate sequenze e forme d'onda di clamping e declamping personalizzate. Le prestazioni versatili e affidabili dell'ECD Wisman ne consentono l'uso in un'ampia gamma di strumenti e processi unici, senza aggiungere nuovi costi per ogni singolo strumento o processo dell'impianto. Caratteristiche: Interfaccia di controllo con pannello frontale bloccabile. Ogni unità viene fornita con un certificato di calibrazione tracciabile. Supporta le tecnologie Coulombic e Johnsen-Rahbek ESC. I profili del mandrino elettrostatico vengono caricati e memorizzati sul dispositivo e archiviati internamente tramite un'interfaccia software di facile utilizzo. Rilevamento dei wafer: assenza di wafer, presenza di wafer o stato di bloccaggio dei wafer. Descrizione delle caratteristiche: Visualizzazione della tensione: Proporzionale: 1V/ 300 V B-fase DC: precisione migliore dello 0,5% del fondo scala