Magnetron che farfuglia catodo: Cilindro o tipo planare;
Alimentazione elettrica: CC di impulso, MF, rf
Fonte di ione: generalmente per parti di vetro/ceramiche/metallo della plastica/per incandescenza che scarica, pulizia del plasma.
Alimentazione elettrica diagonale: lavora soltanto ai pezzi da lavorare conduttivi: acciaio, ferro, lega d'acciaio, zamak, lega di alluminio, ottone ecc.
Pacchetto del pulsometro: La pompa a palette rotatoria, pompa del pistone rotante, pianta la pompa, la pompa di diffusione/pompa molecolare di turbo, tenente la pompa ecc.
Altri: Gate le valli/vacuometri, il MFC, i montaggi di vuoto e la linea stridente di vuoto, alimentazione da parte a parte,
3. L'attrezzatura del rivestimento di serie di RTSP è utilizzata per la produzione dei rivestimenti funzionali conduttivi e non conduttivi, scopo estetico.
A. Applications: Rivestimenti di ITO su vetro per i touch screen, esposizioni; vetro architettonico; industria automobilistica: ruote & orli di automobile, specchi di automobile, lampade cape, luci della coda, interno di plastica & esterni; stoviglie & articolo da cucina, gioielli, sport e giocattoli, sostituzione acqua placcante.
B. materiali di rivestimento:
Metalli: Ti (titanio), cromo del Cr), Zr (zirconio), Cu (rame), Al (alluminio), Ni (nichel),
SUS316 (acciaio inossidabile)…
Leghe del metallo: Lega di Ti-Al, lega di Ni-CA (al cadmio-nichel), ITO (ossido di stagno dell'indio)
Metodi di C. Sputtering: DC/MF/RF
D. Feature: deposito a bassa temperatura