Il monitor compatto dello spessore del film è un misuratore di spessore del film spettrofotometrico a riflessione che utilizza una piccola sonda a riflessione ed è applicabile in tutte le situazioni, dal livello di laboratorio all'ispezione in linea al 100% nel processo di produzione. Ha un'eccellente manutenibilità e può essere utilizzato per essere incorporato nelle apparecchiature di processo e nella gestione della linea.
È possibile misurare simultaneamente fino a 9 tipi di film trasparenti.
Può essere utilizzato come monitor in linea o end-point per i vari processi di film multistrato.
La sonda compatta può essere installata in uno spazio ridotto all'interno dello strumento di processo. È inoltre possibile valutare il rapporto di miscela dello strato misto o la cristallinità del polisilicio utilizzando la teoria EMA.
---