Misuratore di spessore fisso SKM-iFTM series

di filma riflettanza spettrale

Il monitor di spessore per immagini è uno strumento metrologico in grado di visualizzare la distribuzione dello spessore di un film multistrato trasparente. Può visualizzare la distribuzione dello spessore del film con una risoluzione di 0,1 nm utilizzando la riflettometria spettroscopica. Visualizzazione dell'uniformità dello spessore del film Misura lo spessore/la qualità del film nel campo visivo del microscopio, mostra la distribuzione 3-D Risoluzione dello spessore del film: <0,1nm Buona risoluzione dello spessore equivalente agli strumenti di spettrometria. La lunghezza d'onda può essere selezionata da 450nm a 750nm con una precisione di 1nm. Alta velocità / Misura multistrato fino a 9 strati Elaborazione in parallelo con la riflettometria spettroscopica Applicazioni avanzate ① Film ripetuti di diverse centinaia, come i filtri di interferenza passabanda, e film multistrato compositi, come la struttura a trincea ② Stima della densità del pattern al di sotto del micron utilizzando l'Approssimazione del mezzo effettivo (EMA) ③ Valutazione della cristallinità dell'area locale come la ricottura laser