La serie MFC2000 è progettata per applicazioni generiche di controllo della portata massica con gas puliti e secchi. Utilizza il chip di rilevamento Thermal-D dell'azienda e può essere applicato a gas non corrosivi con diffusività nota.
I regolatori di portata massica della serie MFC2000 sono realizzati con la calorimetria MEMS (sistemi microelettromeccanici) proprietaria di Siargo con tecnologie di rilevamento della diffusività (Thermal-D ®) che misura la calorimetria e la diffusività del fluido che scorre. Questa tecnologia, rispetto al rilevamento calorimetrico convenzionale, offre una linearità molto migliore nell'intero intervallo dinamico, elimina la sensibilità ai gas con diffusività termica simile e aumenta l'accuratezza della misura e del controllo se utilizzata con un fattore di conversione del gas. Inoltre, fornisce simultaneamente i dati relativi alla temperatura istantanea del fluido e migliora le prestazioni di temperatura dell'approccio di rilevamento termico.
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