I regolatori di portata massica del gas della serie MFC5000 sono realizzati in conformità agli standard SEMI per le applicazioni di riferimento. Il prodotto offre un’ampia gamma di opzioni di comunicazione bus, tra cui DeviceNet, ProfiNet, EtherCat e IO-Link. Queste interfacce possono inoltre essere ulteriormente personalizzate su richiesta. Il modello MFC5000 è progettato per il controllo di processo e presenta un campo dinamico di 100:1. Controlla la pressione in un intervallo compreso tra 0,1 e 1 MPa (da 15 a 150 PSI) e un intervallo di temperatura compensato compreso tra 0 e 50 °C. Il dispositivo può funzionare anche in condizioni di vuoto.
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