Magazzino automatico verticale

per cassetteper camera biancaad alta densità

Panoramica
Soluzione di stoccaggio automatizzata ad alta densità per la produzione di semiconduttori, progettata per massimizzare l'utilizzo dello spazio verticale e integrarsi con i sistemi di movimentazione materiali in fabbrica.

Caratteristiche principali

• Implementazione rapida con insegnamento e test automatico del livello dei materiali
• Stoccaggio ad alta densità che massimizza lo spazio a pavimento e verticale
• Progettato per fab di wafer da 300 mm
• Compatibile con ARV, OHT, OHS e processi manuali
• Integrazione con i sistemi di gestione dei materiali in produzione
• Conformità cleanroom: ISO14644-14, SEMI S2 e standard ESD

Stocker — Introduzione all'applicazione
Soluzione di stoccaggio e gestione inventario automatizzata per linee di produzione di semiconduttori, che consente buffering in linea e movimentazione sicura di wafer e supporti.

Si applica a

• Stoccaggio ad alta densità e utilizzo completo dello spazio verticale
• Tempi di ciclo rapidi e flusso materiali reattivo
• Integrazione nei sistemi di gestione dei materiali del reparto
• Implementazione rapida con insegnamento e test automatico del livello
• Compatibilità con processi automatici ARV/OHT/OHS e manuali
• Conformità a Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 e standard ESD

E-RACK/TT — Introduzione funzionale

• Stoccaggio online per semiconduttori che supporta FOUP, CASSETTE, Magazine e Tray
• Interfacciamento con ARV e possibilità di carico/scarico manuale
• Interfaccia software SEMI standard e design modulare
• Conforme a Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 e standard ESD

Specifiche tecniche

• Applicazione: stoccaggio e gestione automatizzata dei materiali per la produzione di semiconduttori
• Supporti supportati: FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray
• Compatibilità: ARV/OHT/OHS e carico/scarico manuale
• Conformità cleanroom: ISO14644-14
• Norme: conforme a SEMI S2
• Protezione ESD: rispetta gli standard ESD
• Design: modulare
• Implementazione: dispiegamento rapido con capacità di insegnamento/test automatico del livello
• Dimensione wafer target: 300 mm
• Benefici principali: stoccaggio ad alta densità e ottimizzazione dello spazio verticale