Il più grande dei due sistemi di movimento TRIPOD 92-6DoF ha sei gradi di libertà e utilizza gli stadi piezoelettrici ad alta precisione SMARSLIDE, essendo anche pienamente compatibile con il sistema modulare CLS-92.
Il componente centrale del TRIPOD 92-6DoF è lo stadio parallelo a cinematica tip-tilt TRIPOD 92-Core. Il suo design con tre torri disposte radialmente consente un movimento di rollio e beccheggio della piastra superiore con una corsa totale di 31° per Rx, 27° per Ry e una traslazione lineare in direzione Z di 11 mm. Sulla sommità del TRIPOD 92-Core uno stadio di rotazione SR-5714C consente una rotazione illimitata intorno all'asse Z. Il TRIPOD 92-Core è pienamente compatibile con il sistema modulare CLS-92 ed è posizionato su una piattaforma XY costituita da due stadi di traslazione lineare CLS-92. La piastra inferiore consente il montaggio diretto su una breadboard ottica standard con griglia da 25 mm.
I valori della corsa di rotazione sono indicati per un punto di rotazione sulla superficie della piastra superiore.
Le dimensioni complessive del sistema completo possono essere maggiori per pose diverse. Per ulteriori informazioni, consultare il modello CAD nell'area download.
La ripetibilità è misurata a circa 20 mm sopra la piastra superiore di ciascun sistema, sull'intera gamma di corse e per un singolo grado di libertà alla volta. I valori possono essere migliori per corse più brevi.
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