Piastra di posizionamento rotativa MR-30028

in ciclo chiusoalluminioa presa diretta

Lo stadio rotazionale SMARSHIFT MR-30028 è un rotatore per grandi superfici con un diametro di 300 mm e un'ampia apertura di 110 mm. È caratterizzato da alta velocità, alta coppia e lunga durata con una precisione senza compromessi. L'ingombro ridotto e il profilo basso semplificano l'integrazione nei sistemi esistenti e lasciano spazio sufficiente per l'applicazione. Applicazioni Il rotatore MR-30028 è stato progettato specificamente come stadio di rotazione per wafer. Come piattaforma per wafer fino a 300 mm (12"), può essere utilizzato per metodi metrologici (come la riflettometria, la spettroscopia a riflessione, l'ellissometria spettroscopica (VASE) e altri) o per la produzione (per l'incollaggio dei wafer, la litografia EUV e altri). Altre aree di applicazione includono l'allineamento ottico di oggetti più pesanti nell'industria fotonica e nell'astronomia. Specifiche tecniche Forza massima Forza normale [N] - 1000 Dimensioni [mm] - ⌀ 300 × 28 Peso [g] - 5000 Apertura [mm] - 110 Materiale Materiale della base - Alluminio, anodizzato nero Ad anello aperto Velocità angolare [°/s] - 540 - Ad anello chiuso Tipi di sensore - S Risoluzione del sensore [µ - <1 Velocità angolare [°/s] - 540