Magnetron rotativo SC-Series

di polverizzazione a bombardamento ionico

Il nostro più grande blocco terminale a montaggio interno, lo SC può gestire target fino a 4000 mm e ha una potenza fino a 200 kW DC o 80 kHz MFAC I blocchi terminali per montaggio interno SCI hanno un'elevata affidabilità e un design semplice e di facile manutenzione. La configurazione single-ended riduce il numero di guarnizioni rotative e statiche, una delle modalità di guasto più comuni nei catodi rotativi. La nostra caratteristica unica di riempimento e scarico dell'acqua permette un migliore raffreddamento del bersaglio e lo svuotamento completo dell'acqua del bersaglio al soffio. Questo design elimina la possibilità di corrosione galvanica all'interno del blocco terminale, che potrebbe portare a perdite d'acqua e cortocircuiti. I blocchi terminali SC di Sputtering Components possono essere installati su qualsiasi nuovo verniciatore o possono facilmente sostituire altri blocchi terminali rotanti o sistemi planari. Caratteristiche Tecnologia brevettata per la fornitura di energia Unico metodo di attacco al bersaglio Guarnizioni rotanti durevoli e di lunga durata Montaggio standard del settore sul coperchio Progettazione di obiettivi non proprietari Riempimento d'acqua target brevettato e drenaggio La barra magnetica può essere impostata con qualsiasi angolazione Vantaggi Massima affidabilità sul mercato Facile da installare o retrofit da endblock della concorrenza Il più veloce cambio di destinazione disponibile 1 ora di manutenzione annuale; 3 ore di ricostruzione totale del blocco finale Costo di manutenzione più basso Utilizzare obiettivi di qualsiasi fornitore Elevata potenza senza impatto di riscaldamento induttivo - nessuna polvere di spazzola Nessuna corrosione galvanica