Magnetron rotativo TC-Series

di polverizzazione a bombardamento ionico

I blocchi terminali interni della serie TC hanno una tecnologia di erogazione dell'energia unica nel design più compatto disponibile. Il TC può gestire target fino a 1500 mm e ha una potenza nominale di 40 kW DC o 80 kHz MFAC. I blocchi terminali per montaggio interno SCI hanno un'elevata affidabilità e un design semplice e di facile manutenzione. La configurazione single-ended riduce il numero di guarnizioni rotative e statiche, una delle modalità di guasto più comuni nei catodi rotativi. La nostra caratteristica unica di riempimento e scarico dell'acqua permette un migliore raffreddamento del bersaglio e lo svuotamento completo dell'acqua del bersaglio al soffio. Il design elimina la possibilità di corrosione galvanica all'interno del blocco terminale, che potrebbe portare a perdite d'acqua e cortocircuiti. I blocchi terminali a montaggio interno TC di Sputtering Components possono essere installati su qualsiasi nuovo verniciatore o possono facilmente sostituire i sistemi planari. Caratteristiche Tecnologia brevettata per la fornitura di energia Unico metodo di attacco al bersaglio Guarnizioni rotanti durevoli e di lunga durata Il design più compatto disponibile per obiettivi standard e industriali Progettazione di obiettivi non proprietari Si adatta a dimensioni target standard Funzione brevettata di riempimento e svuotamento dell'acqua di destinazione Vantaggi Eccellente affidabilità Facile da installare Rapido cambio di destinazione 2 ore di manutenzione annuale; 3 ore di ricostruzione totale del blocco finale Costi di manutenzione molto bassi Utilizzare obiettivi di qualsiasi fornitore Eccellente capacità di potenza senza impatto di riscaldamento induttivo - nessuna polvere di spazzola Nessuna corrosione galvanica