Catodo rotante per polverizzazione per montaggio interno MC-Series

Il MC è il nostro blocco terminale di medie dimensioni a montaggio interno. Può gestire target fino a 2500 mm e ha una potenza fino a 100 kW DC o 80 kHz MFAC. I blocchi terminali SCI hanno un'elevata affidabilità e un design semplice e di facile manutenzione. La configurazione single-ended riduce il numero di guarnizioni rotative e statiche, una delle modalità di guasto più comuni nei catodi rotativi. La nostra caratteristica unica di riempimento e scarico dell'acqua permette un migliore raffreddamento del bersaglio e lo svuotamento completo dell'acqua del bersaglio al soffio. Il design elimina la possibilità di corrosione galvanica all'interno del blocco terminale, che potrebbe portare a perdite d'acqua e cortocircuiti. I blocchi terminali MC di Sputtering Components possono essere installati su qualsiasi nuovo rivestimento o possono facilmente sostituire i sistemi planari. Caratteristiche Tecnologia brevettata per la fornitura di energia Unico metodo di attacco al bersaglio Guarnizioni rotanti durevoli e di lunga durata Montaggio standard del settore sul coperchio Progettazione di obiettivi non proprietari Riempimento d'acqua target brevettato e drenaggio La barra magnetica può essere impostata con qualsiasi angolazione Vantaggi Massima affidabilità sul mercato Facile da installare o retrofit da endblock della concorrenza Il più veloce cambio di destinazione disponibile 1 ora di manutenzione annuale; 3 ore di ricostruzione totale del blocco finale Costo di manutenzione più basso Utilizzare obiettivi di qualsiasi fornitore Elevata potenza senza impatto di riscaldamento induttivo - nessuna polvere di spazzola Nessuna corrosione galvanica