Sistema di posizionamento 3 assi 782300:113.26

XYZlineareper ispezione Wafer e metrologia

Sistema XYZ per laboratorio e ispezione wafer | Vite a sfera, motore CC, rullo trasversale, sistema di misura lineare Sistema a 3 assi modulare e di alta precisione Questa combinazione XY con unità verticale Z separata è costituita dagli assi lineari standard di alta precisione e durata del PMT160. Questa combinazione è adatta a tutte le applicazioni che richiedono una perfetta planarità, tolleranze minime per il passo e l'imbardata e un comportamento fluido. Il sistema XYZ è pronto all'uso con controller e software e funziona con parametri affidabili. Flessibile, immediatamente operativo e testato - Ideale per l'impostazione e l'espansione dell'applicazione - Ripetibilità estremamente precisa fino a 0,5 µm - Passi minimi e massima affidabilità a una velocità di posizionamento relativamente elevata di 50 mm/s - Perfetta planarità di ± 1 per il posizionamento di carichi medi fino a 150 N Espandibile in opzione: - Diverse corse per asse da 50 a 300 mm - Movimenti rotativi in combinazione con DT130 o DT200 - Diverse varianti di motore: Motore CC, motore passo-passo, motore lineare e nanomotion - Utilizzo immediato con controller preconfigurato, incluso un software esemplare - Versioni per camera bianca ISO 14644-1