Sistema di micro-posizionamento sotto alto vuoto MP53-3-PM-10-PM-L

3 assiXYZpiezoelettrico

MP53-3-PM - Sistemi multiasse compatti per il vuoto Microposizionatore ad alta risoluzione - HV / UHV / EUV, corsa 10 mm, ripetibilità 0,2 µm, carico 0,5 kg - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV - Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C Configurabile opzionalmente: - Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnete - In opzione con sistema di misura ad alta risoluzione per una ripetibilità fino a 0,005 µm - Combinabile con stadi rotanti per applicazioni rotanti - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con il controllore FMC400/450 Manipolatore XYZ miniaturizzato per applicazioni complesse Il manipolatore MP53 è un sistema miniaturizzato a 3 assi per il movimento X, Y e Z in uno spazio di installazione molto limitato. Vengono realizzate corse di 10 mm. Il manipolatore è dotato di motori piezoelettrici e può quindi realizzare incrementi di posizionamento di pochi nanometri per applicazioni di alta precisione in alto vuoto e ultra alto vuoto. Aree di applicazione Posizionamento di precisione in spazi di installazione minimi per applicazioni di laboratorio, microscopia e tecnologia dei semiconduttori, ricerca nel vuoto spinto e sotto radiazioni ultraviolette estreme, preparazione del campione, scansione del campione, manipolazione del campione, regolazione della telecamera, regolazione del sensore, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, linea di fascio, acceleratore, sincrotrone, miniaturizzazione