Griglia

Panoramica
Fori micro passanti quadrati senza raggi d'angolo (R=0) che consentono pattern a passo ridotto e piccolo diametro precedentemente non realizzabili.

Caratteristiche

• Fori micro passanti ad alta densità
  • Esempio: fino a 150.000 fori da 0,1×0,1 mm su un wafer da 3 pollici
• Fori passanti ad alto rapporto d'aspetto (fino a 1:10)
  • Range tipico 1:8–1:10; sezioni trasversali dritte o coniche disponibili
• Minimizzazione delle scheggiature
  • Migliora il contatto per la giunzione anodica con Si

Opzioni

• Metallizzazione delle pareti laterali
  • Riduce l'interferenza ottica o l'assorbimento tra i fori
• Geometria della cavità selezionabile

Specifiche standard
Materiale: Borofloat 33 (BF33) ecc.
Dimensione del vetro: ≦φ150 mm
Spessore min.: 0,25 mm
Tolleranza spessore: ±0,01 mm
Dimensione min. foro: □0,07 mm
Tolleranza dimensione foro: ±0,02 mm
Rapporto d'aspetto max.: 1 : 10
Controllo particelle: Disponibile
Forma sezione: Dritta / Conica

Caratteristiche / specifiche tecniche

• Materiale: Borofloat 33 (BF33) ecc.
• Dimensione del vetro: ≦φ150 mm
• Spessore minimo: 0,25 mm; tolleranza ±0,01 mm
• Dimensione minima foro: quadrato 0,07 mm; tolleranza ±0,02 mm
• Rapporto d'aspetto massimo: fino a 1 : 10 (tip. 1:8–1:10)
• Sezione trasversale: fori dritti o conici
• Microfori ad alta densità: es. 150.000 fori da 0,1×0,1 mm su wafer da 3 pollici
• Metallizzazione delle pareti laterali disponibile per controllare interferenza/assorbimento ottico
• Controllo particelle e gestione in camera bianca disponibili
• Minimizzazione delle scheggiature per migliorare le prestazioni della giunzione anodica