SEM analitico ad alta risoluzione per applicazioni di routine di caratterizzazione dei materiali, ricerca e controllo qualità su scala sub-micronica
Il microscopio elettronico a scansione (SEM) di 4a generazione di TESCAN MIRA con sorgente di emissione di elettroni FEG Schottky combina l'imaging SEM e l'analisi della composizione degli elementi in diretta in un'unica finestra del software Essence™ di TESCAN. Questa combinazione semplifica significativamente l'acquisizione sia dei dati morfologici che di quelli elementali dal campione, rendendo il MIRA SEM una soluzione analitica efficiente per l'ispezione di routine dei materiali nel controllo qualità, nell'analisi dei guasti e nei laboratori di ricerca.
- Piattaforma analitica con TESCAN Essence™ EDS completamente integrato, che combina in modo efficiente l'imaging al SEM con l'analisi della composizione elementare in un'unica finestra del software Essence™.
- Immagini ottimali e condizioni analitiche immediatamente disponibili grazie all'esclusivo design ottico senza aperture di TESCAN, alimentato da In-flight Beam Tracing™.
- Navigazione al SEM senza sforzo e precisa sul campione con ingrandimenti fino a 2× senza la necessità di una telecamera di navigazione ottica aggiuntiva grazie all'esclusivo design Wide Field Optics™.
- Modalità SingleVac™ come caratteristica standard per l'osservazione di campioni sensibili alla carica e al fascio.
- Software Essence™ intuitivo e modulare, progettato per un funzionamento senza sforzo, indipendentemente dal livello di esperienza dell'utente.
- La massima sicurezza dei rilevatori montati in camera quando lo stadio e il campione sono in movimento è garantita dal modello Essence™ 3D Collision.
- Sono disponibili rivelatori opzionali a colonna SE e BSE, tra cui la tecnologia di decelerazione del fascio per migliorare le prestazioni di imaging a tensioni di accelerazione più basse.
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