Pompa a vuoto a palette LR/HR/UR series

a seccomonostadiodi elio

POMPA PER VUOTO A SECCO SERIE LR/HR/UR L'approccio unico di ULVAC per utilizzare il calore generato all'interno del corpo pompa a secco consente alle serie LR/HR/UR di funzionare anche nei processi più rigorosi. ULVAC ha concentrato gli sforzi di progettazione per mantenere un'elevata temperatura estremamente uniforme in tutte le fasi della pompa, rendendo questa pompa di serie ottimale per le applicazioni CVD e di incisione. L'ECO-SHOCK di ULVAC può essere aggiunto alla pompa LR per un ulteriore risparmio energetico fino al 70% per qualsiasi processo leggero, comprese le pompe per il pompaggio dell'aria o dell'azoto: La pompa della serie LR è progettata per processi di bloccaggio del carico o PVD. L'esclusivo design in alluminio di ULVAC consente una distribuzione molto uniforme della temperatura in tutto il corpo pompa: La pompa HR aeries è progettata per i processi CVD e di incisione. La pompa della serie ULVAC UR è progettata per applicazioni che richiedono una pompa riscaldata, linee di gas riscaldate e/o linee di scarico riscaldate Eccellente capacità di pompaggio dell'elio : Motore in scatola per la sicurezza e la facilità di manutenzione Protezione da mancanza di corrente : La pompa resiste a interruzioni di corrente fino a 1000ms di durata. Superiore resistenza alla corrosione: i componenti interni sono trattati in modo speciale, fornendo un elevato grado di durezza superficiale e resistenza alla corrosione. Questo previene l'usura e la corrosione delle parti interne della pompa quando esposti a gas corrosivi. Funzione di comunicazione: I dati della pompa, compresi gli avvisi e gli allarmi, possono essere esportati. È disponibile un ampio controllo della pompa. La marcatura CE è disponibile su richiesta.