Pompa a vuoto turbomolecolare UTM-FH, FW series

lubrificatamonostadioanticorrosione

Abbondanti variazioni da 350L/s alle 6300L/s più grandi del mondo (tipo di cuscinetto a controllo magnetico digitale). Prestazioni di pompaggio stabili e sostenibili contro il cambiamento di contropressione (serie FH). Sistema di riscaldamento interno opzionale per il controllo della temperatura del rotore e riducono l'adesione dei sottoprodotti della reazione laterale (serie FW). Eccellente trattamento superficiale anticorrosione (escluso 3303FH e 6300FH). Trattamenti superficiali speciali opzionali (ad es. Nichel placcatura + elettrodeposizione di cationi, film speciale depositato, anodizzazione dell'alluminio) sono disponibili in base alle necessità. Montabile in tutte le direzioni. Il sistema a velocità variabile permette di cambiare il valore di velocità di pompaggio nell'intervallo dal 25% al 100%. Non ci sono limiti alla combinazione di alimentazione elettrica e pompa unità principale per cambiare la lunghezza del cavo a causa dell'uso di accoppiamento sistema libero e sistema libero da sintonia. L'autoproduzione di energia rigenerativa viene utilizzata per alimentazione elettrica di sostegno all'interruzione dell'alimentazione elettrica facendo uso della batteria libera sistema. Non è necessario sostituire la batteria in caso di problemi. Funzioni integrate di monitoraggio/autodiagnostica e di comunicazione consentono di configurare il sistema di monitoraggio centralizzato. Progettazione della sicurezza con costruzione ad assorbimento di energia da frattura può ridurre i danni al sistema di vuoto quando il problema e' successo con le pompe. L'alta durata e l'alta affidabilità sono state realizzate da esperimenti come l'aria rushing-in test, vari toccando down test, test di distruzione forzata per rotore e corpi estranei test di caduta di materiale (caduta di wafer Si).