La pompa ionica Sputter è una delle pompe utilizzate per generare vuoto ultra ed estremamente alto vuoto. Questa pompa ha un design semplice, senza parti in movimento per produrre usura e vibrazioni. Queste caratteristiche rendono la pompa a ioni sputter la preferita per l'uso in acceleratori e apparecchiature di analisi. ULVAC, Inc. ha sviluppato la serie ACTER di pompe ioniche sputter. Le pompe ACTER utilizzano campi magnetici ottimizzati e nuovi elementi ACTER per migliorare notevolmente le caratteristiche di pompaggio nella gamma di vuoto ultra alto e ultra-alto e per migliorare le prestazioni di costo complessivo. Come risultato di questi miglioramenti delle prestazioni, le pompe ACTER sono state accettate nell'acceleratore, nel microscopio elettronico e in altri campi scientifici. pressione finale nell'ordine di 10-10 Pa ottenuta con una cupola di prova
conformi alle norme ISO (CXII, serie AXII)
Eccellenti prestazioni di pompaggio ottenute con il gas inerte potenziato
modello di pompaggio (tipo AXII)
Bake-out ad alta efficienza e riduzione delle perdite di campo magnetico con
riscaldatore esclusivo e copertura dello scudo
Elevata velocità di pompaggio nel campo dell'ultra alto vuoto
Più tempo libero da manutenzione
Caratteristiche di pompaggio di prim'ordine in
ultravuoto ed estremamente alto vuoto
(lo scarico è mantenuto fino a
la gamma del vuoto ultra alto)
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