Semiconduttori, FPD e processi industriali, specialmente sistemi di CVD.
Azionatore
Azionatore ultraveloce (spettrografia di massa 90)
Regolatore con i parametri configurabili di pi
Interfaccia RS232 con 2 uscite analogiche
Interfaccia Ethernet
Interfaccia di DeviceNet
Interfaccia di logica
Interfaccia di Profibus
Interfaccia RS-485
Interfaccia di Cc-collegamento
Interfaccia di EtherCAT
Alimentazione elettrica del sensore 15V di CC del ± = di SPS ad interruzione di corrente)
PFO = opzione di interruzione di corrente (valvola si chiude automaticamente o si apre
Valvola
Termine nominale del diametro: DN 40/50 con ISO-KF DN 63/80/100 con ISO-F
Altre flange (JIS, ASA-LP, CFF)
Il cliente ha specificato le flange
Anodizzata dura di alluminio o nichelato
Altri materiali di sigillatura
Radiatore con isolamento per le temperature 80°C, 100°C, 120°C della valvola
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