Sorgente di ioni DC

6cm x 30cm DC Ion Source Sorgente lineare per grandi/grandi lotti di substrati o grandi lotti di substrati Le collaudate sorgenti di ioni CC a griglia lineare di Veeco sono ideali per piattaforme di processo di deposizione a fascio ionico altamente uniformi e affidabili che utilizzano substrati singoli di grandi dimensioni o grandi lotti di substrati. Sono un'ottima risorsa per il fissaggio lineare o cilindrico. Presenta lo stesso design innovativo, qualità e affidabilità delle sorgenti a fascio di ioni tondi Veeco di classe mondiale Fornisce plasma uniforme e densità di corrente elevata Supporta un'ampia gamma di energia del fascio da 50 a 2000 eV con correnti nominali del fascio per sorgente fino a 500 mA Le opzioni di alimentazione consentono correnti del fascio fino a 800 mA