Gli alimentatori elettrostatici a ventosa della serie EC di Wisman, guidati dal software, offrono una serie di caratteristiche in grado di soddisfare un'ampia gamma di applicazioni esigenti. Lo strumento utilizza la tecnologia degli amplificatori Wisman, che ha dimostrato di aumentare l'efficienza e la produttività fino a tre volte rispetto ad altre fonti di alimentazione. Riduzione degli errori di gas sul retro, miglioramento della produttività ed eliminazione dei problemi di wafer stick/burst; controllo di parametri quali sovracorrente, presenza di wafer e soglie di clamp, tensione di clamp, tensione di offset e controlli di ampiezza/offset interni o esterni; versatilità del controllo dell'ampiezza/offset e dell'uscita durante la regolazione; controllo dell'uscita tramite I/O del pannello posteriore, comandi seriali del computer o controlli del pannello anteriore; configurazione di sequenze e forme d'onda personalizzate di clamp e rimozione del clamp. Le prestazioni versatili e affidabili dell'EC di Wisman ne consentono l'uso in più strumenti e processi unici, senza aggiungere nuovi costi a ogni strumento o processo unico dell'impianto.
Caratteristiche del prodotto:
Interfaccia di controllo con pannello frontale bloccabile;
Ogni unità viene fornita con un certificato di calibrazione tracciabile;
Supporta le tecnologie Coulombic e Johnsen-Rahbek ESC;
Questa sezione descrive come caricare il file di configurazione di un mandrino elettrostatico sul dispositivo e memorizzarlo nel dispositivo utilizzando un'interfaccia software di facile utilizzo;
Il rilevamento del wafer include lo stato di wafer libero, presenza o bloccaggio del wafer;
Applicazione:
Movimentazione elettrostatica dei materiali
Trattamento dei wafer di semiconduttori
Trasferimento non meccanico di lastre piane o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica
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