Alimentatore elettrico per rack ECB

AC/ACad uscita semplicea commutazione

La serie ECB è costituita da amplificatori ad alta tensione per ventose elettrostatiche (E-Chuck, ESC). Oltre alla commutazione di polarità e alla messa a terra forzata, questa famiglia offre anche un sistema di monitoraggio dei wafer per soddisfare le esigenze di ispezione degli stessi. Inoltre, grazie a un'ampia gamma di tensioni, la serie supporta le ventose elettrostatiche di Coulomb e Johnsen-Rahbek. Applicazione: il sistema è in grado di soddisfare le esigenze di ispezione dei wafer Movimentazione elettrostatica dei materiali Lavorazione di wafer di semiconduttori Trasferimento non meccanico di lastre o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica