Lo Xeryon Linear Stage (XLS) è un preciso stadio lineare azionato da un silenzioso motore piezoelettrico ad ultrasuoni. Ciò consente un rapido posizionamento con precisione al nanometro. Il motore piezoelettrico autobloccante mantiene la posizione del palco quando non è alimentato. Di conseguenza, il consumo energetico e la produzione di calore sono notevolmente ridotti. L'encoder integrato ha una risoluzione di 1,5µm (=1500nm).
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