Piastra di posizionamento di alta precisione XLS-1 Precision Serieslinearepiezoelettricavuoto-compatibile
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Altre caratteristiche
- di alta precisione, vuoto-compatibile, con risoluzione subnanometrica
- Corsa
Max.: 102 mm
(4,016 in)Min.: 27 mm
(1,063 in)- Velocità
Max.: 200 mm/s
Min.: 0 mm/s
Descrizione
Lo Xeryon Linear Stage (XLS) è un preciso stadio lineare azionato da un silenzioso motore piezoelettrico ad ultrasuoni. Ciò consente un rapido posizionamento con precisione al nanometro. Il motore piezoelettrico autobloccante mantiene la posizione del palco quando non è alimentato. Di conseguenza, il consumo energetico e la produzione di calore sono notevolmente ridotti. L'encoder integrato ha una risoluzione di 310 nm.
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