per semiconduttore, per materiali magnetostrittivi
Applicazioni
per applicazioni industriali, da laboratorio, per test di componente
Altre caratteristiche
configurabile
Descrizione
Panoramica
La serie DX-9000 è un sistema completamente automatizzato di misura delle proprietà di trasporto elettrico per la caratterizzazione dell'effetto Hall, della magnetoresistenza (R–H), della resistenza dipendente dalla temperatura (R–T) e delle caratteristiche I–V. Integra strumenti di misura di precisione (es. Keithley), sorgenti di campo magnetico selezionabili (elettromagneti o magneti superconduttori senza elio liquido), portacampioni configurabili e software di test automatizzato per misure ripetibili.
Funzioni
Misurare l'effetto Hall, le caratteristiche R–H (resistenza in funzione del campo magnetico), le caratteristiche R–T (resistenza in funzione della temperatura) e le caratteristiche I–V (resistività).
Derivare parametri: resistenza a foglio, resistività, coefficiente di Hall, mobilità Hall, concentrazione di portatori e tipo di conducibilità.
Generare uscite caratteristiche: curve di parametri dipendenti da temperatura o campo magnetico; curve I–V sotto diversi campi e temperature; tracciati R–H e R–T per analisi e reportistica.
Principali caratteristiche
Le misure di resistività, coefficiente di Hall e mobilità Hall sono conformi allo standard ASTM‑F76.
Ampia gamma di misurazione di resistenza e resistività in base alla configurazione (da ultra‑bassa ≈100 nΩ a resistenze elevate fino a 100 GΩ in configurazioni specifiche).
Scheda campione plug‑in con scheda a quattro punti fornita per semplificare il montaggio del campione e ridurre i tempi di preparazione degli elettrodi.
La configurazione standard supporta la misura simultanea di due campioni; espansione opzionale fino a quattro campioni.
Sequenze di misura e calcolo automatizzate tramite software dedicato; un tipico dataset di effetto Hall può essere ottenuto in circa 3 minuti.
Campo magnetico altamente stabile (stabilità 24 h < ±0,5 G) con attraversamento dello zero fluido; alimentazione dell'elettromagnete con gaussmetro integrato e controllo fine (risoluzione 0,1 G; esempio salita 0→1 kG in ~20 s).
Opzioni di controllo della temperatura selezionabili che consentono misure Hall e di resistenza su ampie gamme di temperatura.
Configurazioni disponibili e capacità chiave
Sistemi standard (modelli): DX-9003, DX-9005, DX-9007 — mobilità fino a ~1×10^5 cm^2/Vs; intervallo di concentrazione di portatori ~6×10^12 a 6×10^21 cm^-3; resistività 5×10^-7 a 5×10^2 Ω·cm.
Sistemi ad alta sensibilità (modelli): DX-9003HS, DX-9005HS, DX-9007HS — mobilità fino a ~1×10^6 cm^2/Vs; concentrazione di portatori fino a ~6×10^23 cm^-3; resistività fino a ~5×10^-9 Ω·cm.
Sistemi ad alta resistenza (modelli): DX-9003HR, DX-9005HR, DX-9007HR — concentrazione di portatori da ~6×10^8 a ~6×10^23 cm^-3; resistività fino a ~5×10^6 Ω·cm; misura della resistenza fino a 10 GΩ.
Opzioni ambienti termici: box a azoto liquido a punto singolo (77 K); termostati ad azoto liquido (standard 80–325 K; alta temperatura 80–500 K); frigoriferi a circolazione (4 K–325 K o 10 K–325 K); forno ad alta temperatura (325 K–1000 K).
Ambienti di campo magnetico: elettromagneti a temperatura ambiente (es.: 1 T @10 mm; 2,4 T @10 mm; 2,6 T @10 mm a seconda del modello); criostati a temperatura variabile (es.: 0,44 T @ LN2 fino a 2,0 T @ LN2 a seconda del modello; 0,26–1,5 T per frigoriferi a ciclo chiuso a seconda del tipo).
Componenti opzionali: piattaforme criogeniche superconduttrici senza elio liquido (serie CFMS, 5 T–18 T, 1,6 K–400 K), opzioni ottiche (testa polare, scatola schermante ottica con percorso), meccanismo rotante, pompa del vuoto, unità di raffreddamento ad acqua in circuito e opzioni aggiuntive temperatura/campo.
Specifiche tecniche
Serie / modelli: serie DX-9000 (varianti Standard, HS, HR: DX-9003/9005/9007; DX-9003HS/9005HS/9007HS; DX-9003HR/9005HR/9007HR).
Proprietà misurate: effetto Hall, magnetoresistenza (R–H), resistenza dipendente dalla temperatura (R–T), caratteristiche I–V.
Parametri derivati: resistenza a foglio, resistività, coefficiente Hall, mobilità Hall, concentrazione di portatori, tipo di conducibilità.
Intervalli di misura della resistenza (per configurazione): Standard ≈ 10 mΩ – 10 MΩ; Alta sensibilità ≈ 0,1 mΩ – 10 mΩ (opzione bassa resistenza 100 nΩ – 10 mΩ); Alta resistenza 0,1 mΩ – 10 GΩ.
Capacità sorgente di corrente: Standard/HS ±50 pA – ±1,05 A (es.: ±1,05 A @ ±21 V, ±105 mA @ ±210 V); HR ±0,1 pA – ±0,1 A; risoluzione di misura: HS/Standard fino a 10 pA / HR fino a 10 fA.
Sorgente/misura di tensione: intervalli e risoluzioni esempi: Standard risoluzione minima 0,1 μV (±0,1 μV – ±200 V); HS ±1 nV – ±100 V; HR ±1 nV – ±100 V.
Intervalli di resistività: Standard 5×10^-7 – 5×10^2 Ω·cm; HS 5×10^-9 – 5×10^2 Ω·cm; HR 5×10^-9 – 5×10^6 Ω·cm.
Intervalli di mobilità: Standard fino a ~1×10^5 cm^2/Vs; HS/HR fino a ~1×10^6 cm^2/Vs (dipende dal modello).
Intervalli di concentrazione di portatori: Standard ~6×10^12 – 6×10^21 cm^-3; HS fino a ~6×10^23 cm^-3; HR da ~6×10^8 – 6×10^23 cm^-3 (dipende dal modello).
Stabilità del campo magnetico: stabilità 24 h < ±0,5 G; gaussmetro integrato e controllo fine; attraversamento dello zero fluido.
Dimensioni massime dei campioni (esempi per variante): 10 × 10 × 3 mm; 30 × 30 × 3 mm; 50 × 50 × 3 mm.
Numero di campioni misurati simultaneamente: Standard 2 (espandibile a 4); configurazioni HS/HR tipiche per singolo campione in alta sensibilità/alta resistenza.
Ingombro tipico di installazione (esempi): 2 m × 1,5 m; 5 m × 2 m (a seconda della configurazione).
Nota precisione di prova: sotto le ipotesi indicate (spessore del campione 100 nm, campo 10 000 Gauss, coefficiente di correzione 1): precisione della prova di resistenza ≈2 %; resistività, coefficiente Hall, concentrazione di portatori e mobilità ≈5 %.
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