Il sensore di gas dell'odore dell'alito MEMS utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato di Si, materiali sensibili ai gas utilizzati nell'aria pulita con materiale semiconduttore di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzando un circuito semplice è possibile convertire la variazione di conduttività della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
Mini rilevatore di respiro
Caratteristiche
Tecnologia MEMS, struttura robusta
Elevata sensibilità a H2S, alcool e gas acetone
Dimensioni ridotte, alta sensibilità, basso consumo energetico
Risposta e ripristino rapidi, circuito di azionamento semplice, lunga durata