Il sensore di gas MEMS H2S utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato Si, materiali sensibili al gas utilizzati nell'aria pulita con materiale semiconduttore di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzare un circuito semplice può convertire il cambiamento di conducibilità della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
Monitor di idrogeno solforato di tipo portatile e fisso e rilevatore di H2S
Caratteristiche
Tecnologia MEMS, costruzione robusta
Elevata sensibilità ai gas H2S
Piccole dimensioni e basso consumo energetico
Risposta rapida e riprendere
Circuito di azionamento semplice, lunga durata