Il sensore di gas MEMS NO2 utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato di Si, i materiali sensibili ai gas utilizzati nell'aria pulita sono materiali semiconduttori di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzare un circuito semplice può convertire la variazione di conduttività della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
Utilizzato principalmente nel rilevatore o negli allarmi NO2 fissi o portatili.
Caratteristiche
Tecnologia MEMS, costruzione robusta
Elevata sensibilità al gas NO2
Piccole dimensioni e basso consumo energetico
Risposta rapida e riprendere
Circuito di azionamento semplice, lunga durata