Misura di posizione assoluta senza contatto ad alta precisione fino a 64 canali sincronizzati
Il sistema ZPS SensorZYGO misura la posizione assoluta utilizzando sensori ottici ultracompatti, facilmente integrabili in applicazioni di alta precisione come specchi deformabili e posizionamento di lenti.
Il sistema di sensori ottici fornisce fino a 64 canali sincronizzati per la misurazione della posizione assoluta di alta precisione, senza contatto, su un intervallo di 1,2 mm. La risoluzione di misura è di 0,01 nm con una stabilità di misura di ≤ 1 nm/giorno.
Sensore otticoI sensori ottici non generano calore e sono insensibili alle interferenze elettromagnetiche, rendendo il sistema ZPS ideale per applicazioni di alta precisione che possono essere influenzate da questi fattori. I sensori ultracompatti si collegano all'involucro centralizzato compatto tramite cavi in fibra ottica. Il software ZPS™ gratuito di ZYGO fornisce una connessione plug-and-play tra il sistema ZPS e il computer, consentendo di iniziare a lavorare con il sistema in modo rapido e semplice.
Il sistema ZPS viene tipicamente utilizzato in sistemi di retroazione ad anello chiuso che richiedono un flusso continuo di dati di posizione ad alta precisione da più sensori per compensare la deriva e mantenere un posizionamento e un allineamento precisi. Il sistema può essere utilizzato anche come strumento in ambienti di ricerca e sviluppo e di produzione per l'allineamento in dispositivi di prova o per quantificare le prestazioni meccaniche dinamiche.
- Misura ottica senza contatto
- Misura di posizione assoluta ripetibile (≤ 0,5 nm, 3σ)
- Sistema ad alta precisione che utilizza algoritmi di compensazione proprietari
- Sensori ultracompatti senza sensibilità EMI o generazione di calore
- Componenti in fibra ottica affidabili e collaudati dalle telecomunicazioni
- Scalabile, fino a 64 canali
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