Il sistema di metrologia del packaging APM650™ di ZYGO® è un nuovo strumento di ispezione progettato per la misurazione automatizzata di PCB basati su pannelli e altre moderne applicazioni di packaging. Offre misure 2D e 3D per diverse caratteristiche superficiali, con precisione verticale sub-nanometrica e laterale sub-micronica
Il cuore del sistema APM650™ è la tecnologia di misura Coherence Scanning Interferometry (CSI).
Questa tecnica senza contatto offre vantaggi di alta precisione e di alto valore nella metrologia delle superfici, tra cui:
- Precisione di misura sub-nanometrica indipendente dall'ingrandimento del campo
- Misura quasi tutti i tipi di superfici, da quelle ruvide a quelle estremamente lisce, come film sottili, pendii ripidi e grandi gradini
- Tecnologia SureScan™ per la tolleranza alle vibrazioni - funzionamento robusto in quasi tutti gli ambienti
- Prestazioni di misura: precisione e ripetibilità eccezionali per le applicazioni di produzione più complesse
- Il software Mx™ consente lo scambio di dati senza soluzione di continuità con altri profilatori ZYGO®, tra cui Nexview™, ZeGage™ e NewView™ 8000
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