Regolatore di portata termico di portata massica SEC-Z500X series

per gasdigitaleanalogico

Regolatore di flusso di massa digitale multi gamma/multi gas Questo è il modello più venduto di HORIBA per i regolatori di portata massica digitali. Ha funzioni multi-gamma/multi-gas che permettono agli utenti di cambiare il tipo di gas o la portata a fondo scala sul posto in modo facile e veloce. Con l'alta precisione +/- 1,0% S.P, la valvola attuatrice piezoelettrica, la risposta ad alta velocità e l'essere interamente in metallo, questo regolatore di portata massica è adatto al miglioramento della resa del processo e alla gestione semplificata delle parti. Sono disponibili comunicazioni digitali/analogiche, DeviceNet™ ed EtherCAT®. Alta precisione ±1,0% S.P. La linearità di questo regolatore di flusso di massa è compensata da una curva polinomiale approssimata e raggiunge un'elevata accuratezza per tutti i campi di controllo del flusso. Per l'avanzamento della precisione effettiva del gas, i dati di calibrazione di vari gas di processo sono misurati dal sistema di misurazione del gas standard di HORIBA STEC. Risposta ad alta velocità Installato con il "sistema PID variabile", che può raggiungere una risposta di 1 secondo tra qualsiasi due set point. Il PID variabile cambia continuamente a seconda dell'impostazione del punto di flusso. Questo permette al fattore PID di essere ottimizzato quando il flusso di fondo scala e i gas vengono cambiati. Soluzione multi-gas/multi-gamma Il software di configurazione permette di cambiare le specifiche rapidamente e facilmente. Una caratteristica chiave è che le modifiche possono essere effettuate senza rimuovere il regolatore di portata massica dal pannello del gas o dalle tubazioni. Questo riduce il numero di regolatori di flusso di massa di riserva necessari, risparmiando tempo e costi. Il controllore di flusso di massa SEC-Z500X è adatto a varie applicazioni e alla produzione di semiconduttori.