FS-3000 combina il controllore di portata massica (MFC) e MuCube (controllore master) di HORIBA STEC. Controllando l'MFC dal MuCube, dotato dell'algoritmo di controllo proprietario di HORIBA STEC, l'FS-3000 ottiene un controllo stabile del frazionamento.
L'algoritmo di controllo realizza un controllo stabile del frazionamento della portata controllando i rapporti di portata e controllando al contempo la pressione del flusso superiore dell'FS-3000 grazie alla tecnologia di ottimizzazione del controllo originale di HORIBA STEC. Inoltre, anche quando i rapporti di divisione vengono modificati, l'algoritmo di controllo realizza una risposta ad alta velocità alla divisione della portata.
Miglioramento dell'espandibilità e delle prestazioni di manutenzione L'FS-3000 supporta la suddivisione fino a 15 canali di flusso grazie all'elaborazione del segnale ad alta velocità. In caso di guasto dell'MFC, l'FS-3000 può essere riparato semplicemente sostituendo lo slave guasto.
Risposta flessibile alle specifiche richieste L'FS-3000 supporta un'ampia gamma di gas, compresi i gas misti. Inoltre, l'FS-3000 supporta RS-485 e DeviceNet come interfacce utente.
---