Regolatore di portata termico di portata massica SEC-Z500X series

per gasdigitaleanalogico

È il modello più venduto di HORIBA per i regolatori di portata massica digitali. È dotato di funzioni multi-range/multi-gas che consentono agli utenti di cambiare il tipo di gas o la portata del fondo scala in loco in modo rapido e semplice. Grazie all'elevata precisione +/- 1,0% S.P., alla valvola piezoelettrica, alla risposta ad alta velocità e alla struttura interamente in metallo, questo regolatore di portata massica è adatto per migliorare la resa dei processi e semplificare la gestione delle parti. Sono disponibili comunicazioni digitali/analogiche, DeviceNet™ e EtherCAT®. Alta precisione ±1,0% S.P. La linearità di questo controllore di portata massica è compensata da una curva polinomiale approssimata e raggiunge un'elevata precisione per tutti gli intervalli di controllo del flusso. Al fine di migliorare l'accuratezza del gas effettivo, i dati di calibrazione di vari gas di processo sono misurati dal sistema di misurazione del gas standard di HORIBA STEC. Risposta ad alta velocità Installato con il "sistema PID variabile", che può raggiungere una risposta di 1 secondo tra due set point qualsiasi. Il PID variabile cambia continuamente in base all'impostazione del punto di flusso. Ciò consente di ottimizzare il fattore PID quando il flusso e i gas del fondo scala vengono modificati. Soluzione multigas/multigamma Il software di configurazione consente di modificare le specifiche in modo rapido e semplice. Una caratteristica fondamentale è che le modifiche possono essere effettuate senza rimuovere il controllore di portata massica dal pannello dei gas o dalle tubazioni. In questo modo si riduce il numero di regolatori di portata massica di riserva necessari, risparmiando tempo e costi. Il controllore di portata massica SEC-Z500X è adatto a varie applicazioni e alla produzione di semiconduttori.