Misuratore termico di portata massica D700MG

massicoper gasdigitale

I processi critici di produzione dei semiconduttori richiedono continuamente dispositivi di controllo del flusso di gas di precisione che consentano l'innovazione futura e la transizione dal laboratorio alla fabbrica di dispositivi logici e di memoria all'avanguardia. HORIBA propone il nuovo MFC D700MG basato sulla pressione, il modello superiore compatibile del D500MG, per rispondere alle sfide dei clienti. Caratteristiche Modifica della configurazione del gas e del fondo scala in macchina *Solo EtherCAT Fornisce flessibilità all'ottimizzazione del processo risposta step-up di 100 ms e controllo della deviazione da MFC a MFC Offre un'elevata produttività e maggiori prestazioni di processo Funzionalità MRMG per piccole portate (Bin101 - Bin105) Fornisce flessibilità ai processi che richiedono una portata ridotta Migliore chiusura della valvola e resistenza alla corrosione grazie all'ugello in PFA La robustezza e il minor rischio di particelle riducono i tempi di fermo macchina e ottimizzano la resa Funzione di monitoraggio dello stato Fornisce più dati interni per una previsione più intelligente dei guasti Elementi in uscita della funzione State Monitor Conteggio della regolazione di portata/pressione Conteggio dell'azionamento della valvola Registrazione della pressione max/min P0,P1,P2 Registrazione della temperatura max/min del blocco Tempo totale sopra/sotto la pressione specifica Tempo totale sopra/sotto la specifica di temperatura. Tempo totale di lavoro Tempo totale di controllo Tempo totale di flusso (per istanza di calibrazione) Portata totale (per istanza di calibrazione)