Misuratore di portata a pressione differenziale D700T

massicoper gas24 VDC

D700T è il modulo di portata massica sensibile alla pressione con le migliori prestazioni, progettato per i processi critici di produzione dei semiconduttori. Il D700T ha adattato la tecnologia di misura e controllo del flusso basata sulla pressione di HORIBA CRITERION per fornire prestazioni ripetibili e accurate ai vertici del settore. Inoltre, l'unicità del D700T è l'utilizzo di un algoritmo di controllo del flusso avanzato brevettato con struttura a doppia valvola che consente al sistema di erogazione del gas del cliente di risolvere molteplici sfide. ≤ 100 msec di tempo di assestamento rapido su tutta la linea (Set to Set, Step up e Step down) Prestazioni insensibili alla pressione in ingresso e in uscita Rilevamento avanzato dei guasti per diagnosticare lo spostamento del sensore di pressione, la perdita della sede della valvola e la variazione dell'accuratezza del flusso Ripetibilità entro lo 0,15 %S.P La migliore specifica di precisione è entro lo 0,45%S.P.* (standard: 0,8%S.P.) Intervallo di temperatura operativa più ampio (15-60 °C)