Misuratore termico di portata massica DZ-107

massicoper gas

Il 14 gennaio HORIBA STEC, Co., Ltd. ha annunciato l'uscita del DZ-107, l'ultimo modello della sua serie di regolatori di portata massica ultrasottili. Questo prodotto aumenta la portata a fondo scala*1 di circa sette volte rispetto ai modelli precedenti e raggiunge una portata massica massima di 20 SLM*2, la più alta della sua categoria*3, mantenendo una larghezza ultrasottile di 10 mm. Il DZ-107 aumenta anche la temperatura massima di funzionamento da 45°C a 60°C per supportare i gas utilizzati nei processi di produzione di precisione dei semiconduttori all'avanguardia. Questi miglioramenti funzionali non solo mantengono l'efficacia dei modelli precedenti nei processi di incisione, ma supportano anche le applicazioni di Chemical Vapor Deposition (CVD) e Atomic Layer Deposition (ALD) che richiedono un elevato controllo del flusso. Poiché i moderni dispositivi a semiconduttore si spingono oltre i confini della miniaturizzazione e dell'integrazione, i requisiti dei controllori di flusso di massa in processi come l'incisione e lo stampaggio diventano sempre più sofisticati e complessi. Per soddisfare un'ampia gamma di esigenze, i produttori di apparecchiature per la produzione di semiconduttori si sforzano di bilanciare la necessità di aumentare il numero di regolatori di portata massica, miniaturizzando al contempo i pannelli di gas*4 che installano questi dispositivi. HORIBA STEC ha sviluppato il DZ-107 per migliorare completamente le capacità del prodotto e affrontare questa sfida, pur mantenendo l'eccezionale larghezza di 10 mm del DZ-100 lanciato nel 2020. Questo include l'aumento del flusso a fondo scala e della temperatura di funzionamento, oltre al supporto per EtherCAT®*5. *1 Portata massima che il dispositivo è calibrato per misurare e controllare con precisione *2 I litri standard al minuto (SLM) forniscono un valore numerico in litri che indica