Misuratore termico di portata massica D700uF

massicoper gasin PFA

D700uF (Micro Flow) è progettato per applicazioni a flusso ≤ 5SCCM. il controllo del flusso ≤ 5SCCM è molto critico nei processi ad alto rapporto di aspetto I componenti specializzati e lo standard a basso flusso di nuova concezione consentono un controllo del flusso di alta precisione fino a 0,025SCCM. Capacità di controllo del flusso fino a 0,025SCCM Controllo preciso del gas di sintonizzazione, per migliorare la sintonizzazione del processo risposta step-up ≤ 100 ms e controllo della deviazione da MFC a MFC Produttività elevata e maggiori prestazioni di processo Metrologia del flusso in-house Prestazioni affidabili da tutti i prodotti fabbricati Funzione State Monitor Fornisce più dati interni per una previsione dei guasti più intelligente Migliore chiusura delle valvole e resistenza alla corrosione grazie all'ugello in PFA La robustezza e il minor rischio di particelle riducono i tempi di fermo macchina e ottimizzano il rendimento