Misuratori di portata per gas HORIBA

Portata volumetrica: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 1,1 bar - 3,5 bar

... un'elevata produttività e maggiori prestazioni di processo Funzionalità MRMG per piccole portate (Bin101 - Bin105) Fornisce flessibilità ai processi che richiedono una portata ridotta Migliore chiusura della valvola ...

Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 0,13 bar - 4 bar
Ripetibilità: 0,01 % - 0,3 %

... D700WR può controllare la portata fino allo 0,1% del fondo scala, consentendo agli utenti di ottimizzare la flessibilità del sistema di erogazione del gas. Ad esempio, se il sistema installa più MFC per il controllo della ...

Temperatura di processo: 0 °C - 80 °C
Pressione di processo: 3,5 bar - 7,5 bar
Ripetibilità: 0,03 % - 0,3 %

... del gas semplificato Soluzione multi-gamma, multi- gas e multi-pressione Le nuove funzioni consentono all'utente di cambiare il tipo di gas, la portata del fondo scala e l'intervallo di ...

Temperatura di processo: 15 °C - 45 °C
Pressione di processo: 2,4 bar - 4,12 bar

... flusso di alta precisione fino a 0,025SCCM. Capacità di controllo del flusso fino a 0,025SCCM Controllo preciso del gas di sintonizzazione, per migliorare la sintonizzazione del processo risposta step-up ≤ 100 ms e controllo ...

Temperatura di processo: 15 °C - 60 °C
Pressione di processo: 2,4 bar - 3,5 bar

... D700T è il modulo di portata massica sensibile alla pressione con le migliori prestazioni, progettato per i processi critici di produzione dei semiconduttori. Il D700T ha adattato la tecnologia di misura e controllo del flusso basata ...

Portata volumetrica: 0,1, 0,3 l/min
Pressione di processo: 0,5 bar - 4 bar
Ripetibilità: 0,15, 0,01 %

... il flusso di gas senza influenzare le fluttuazioni di pressione a monte e a valle. Vengono fornite le letture di portata, temperatura e pressione. Caratteristiche di base Funzione Multi Gas / Multi ...

... l'ultimo modello della sua serie di regolatori di portata massica ultrasottili. Questo prodotto aumenta la portata a fondo scala*1 di circa sette volte rispetto ai modelli precedenti e raggiunge una portata ...