Misuratore termico di portata massica D500 series

a pressione differenzialemassicoper gas

Questo modulo di portata massica insensibile alla pressione all'avanguardia è dotato di rilevamento della pressione differenziale e di una valvola piezoelettrica. L'elevato livello di prestazioni fornito dal CRITERION D500 ne garantisce l'utilizzo per una serie di processi avanzati di produzione di semiconduttori; insensibilità alla pressione, multi-gamma/multi-gas/multi-pressione, funzione di autodiagnosi G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), elevata precisione, risposta rapida, ampio intervallo e interamente in metallo. Prestazioni insensibili alla pressione La nuova funzione Pressure Insensitive ad alte prestazioni offre un sistema di alimentazione del gas semplificato Soluzione multi-gamma, multi-gas e multi-pressione Le nuove funzioni consentono all'utente di cambiare il tipo di gas, la portata del fondo scala e l'intervallo di pressione di alimentazione Funzione di autodiagnosi G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) La funzione avanzata di monitoraggio dello stato di salute del processo consente agli operatori di eseguire i propri test, in genere in tre secondi o meno, per migliorare la produttività Elevata precisione L'accuratezza della portata per il gas di processo è stata migliorata con una regolazione tridimensionale avanzata Risposta rapida Risposta: < 0,8 secondi È possibile ottenere un controllo del flusso accurato e stabile Gamma dinamica Ampia gamma di controllo: 0.2% F.S. a 100% F.S. "Di recente, con l'aumento dell'applicazione dei dispositivi a semiconduttore secondo l'IoT, le più recenti fabbriche di semiconduttori si stanno concentrando sulla riduzione dei tempi di inattività delle apparecchiature. Pertanto, ai fini del rilevamento preliminare dei guasti degli strumenti a semiconduttore e dei relativi componenti, i parametri gestiti del processo a semiconduttore sono aumentati e le relative specifiche sono sempre più stringenti.