Misuratore termico di portata massica D500 series

a pressione differenzialeper gasin linea

Modulo di flusso di massa insensibile alla pressione Questo modulo di flusso di massa insensibile alla pressione all'avanguardia è installato con il rilevamento della pressione differenziale e una valvola attuatrice piezoelettrica. L'alto livello di prestazioni fornito dal CRITERION D500 assicura che possa essere utilizzato per una gamma di processi avanzati di produzione di semiconduttori; insensibile alla pressione, multi-gamma/multi-gas/multi-pressione, funzione di autodiagnosi G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), alta precisione, risposta veloce, ampia gamma e interamente in metallo Prestazioni insensibili alla pressione Una nuova funzione Pressure Insensitive ad alte prestazioni fornisce un sistema di alimentazione del gas semplificato Soluzione multi-gamma, multi-gas, multi-pressione Le nuove funzioni permettono all'utente di cambiare il tipo di gas, la portata a fondo scala e la gamma di pressione di alimentazione Funzione di autodiagnosi G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) La funzione avanzata di monitoraggio dello stato di salute del processo permette agli operatori di condurre i propri test, in genere in tre secondi o meno, per una migliore produttività Alta precisione La precisione della portata del gas di processo è stata migliorata con una regolazione tridimensionale avanzata Risposta veloce Risposta: < 0,8 secondi È possibile ottenere un controllo del flusso accurato e stabile Gamma dinamica Ampia gamma di controllo: 0.2% F.S. al 100% F.S. "Recentemente, con l'aumento dell'applicazione di un dispositivo a semiconduttore secondo l'IoT, le ultime fabbriche di semiconduttori si stanno concentrando per ridurre al minimo i tempi di inattività dell'apparato. Pertanto, ai fini della pre-rilevazione dei guasti degli strumenti a semiconduttore e dei suoi componenti, i parametri gestiti del processo a semiconduttori sono aumentati, e le sue specifiche sono sempre più strette.