Sistema di monitoraggio di concentrazione CS-600F

di temperaturadi misurachimico

Il CS-600F raggiunge un livello superiore di funzionalità più adatte alla produzione, come la capacità di eseguire misure in linea di soluzioni chimiche ad alta temperatura in varie applicazioni, un funzionamento stabile per ridurre i tempi di fermo macchina e dimensioni compatte per migliorare la produttività dello spazio, al fine di soddisfare la precisa gestione della concentrazione della soluzione chimica richiesta nel processo a umido dei semiconduttori all'avanguardia. Dimensioni ridotte per un layout più flessibile Il monitor CS-600F è compatto nelle dimensioni; l'altezza è stata ridotta del 36%, il volume del 40% e lo spazio richiesto dai cavi delle celle del 46% rispetto ai modelli precedenti (serie CS-100F1). L'unità di sorgente luminosa e il corpo principale del monitor possono essere installati a distanza e in posizioni separate, il che consente una flessibilità di installazione basata sulle posizioni dell'unità di soluzione chimica e delle attrezzature di pulizia. Misurazioni in linea ad alta stabilità di soluzioni chimiche ad alta temperatura (da 20 a 80℃) Il nuovo sistema ottico e gli algoritmi di elaborazione migliorati consentono la misura in linea di soluzioni chimiche ad alta temperatura, una fase critica per i processi a umido all'avanguardia. Questo elimina la necessità di raffreddare il campione chimico. Il CS-600F di HORIBA offre un'elevata stabilità e consente una gestione delle soluzioni chimiche più efficiente e precisa. Frequenza di correzione dello sfondo significativamente ridotta La frequenza di correzione regolare è notevolmente ridotta rispetto al modello precedente (serie CS-100F1), che a sua volta riduce significativamente i tempi di fermo macchina e contribuisce notevolmente a migliorare la produttività. Un singolo monitor è in grado di misurare fino a sei tipi di soluzioni chimiche (tipi o intervalli di soluzioni)