Perfetto per il controllo della concentrazione dei liquami
È efficace per mantenere costante la diluizione dell'impasto. Il mantenimento di un valore di conducibilità appropriato contribuisce alla stabilità del processo di lucidatura dei wafer. Anche i liquidi campione altamente viscosi, come il CMP Slurry, possono essere misurati senza problemi perché il sensore utilizza una struttura che riduce il rischio che il liquido campione si attacchi agli elettrodi. Inoltre, il sensore è realizzato in un materiale umido con un'eccellente resistenza chimica, che soddisfa i requisiti di pulizia dei processi di semiconduttori. Oltre a ciò, può essere utilizzato anche per l'introduzione nella fase di sviluppo del processo dei semiconduttori e per il controllo della conduttività di sostanze chimiche speciali.
Alta precisione / Alta stabilità
Campo di misura: da 0 a 2.000 μS/cm, da 0 a 10.000 μS/cm
Ripetibilità: ± 0,5% F/S, ± 1,0% F/S
Assenza di contaminazione metallica
Poiché il materiale dell'elettrodo è costituito da carbone speciale, non è necessario preoccuparsi dell'eluizione di contaminazione metallica.
Dotato di funzione di conversione della concentrazione
Sono possibili due tipi di conversione della concentrazione inserendo la relazione tra la concentrazione chimica e la conduttività e le caratteristiche della temperatura.
È particolarmente adatto per il controllo della diluizione di sostanze chimiche a bassa concentrazione.
Risparmio di spazio
Il grado di libertà nel layout di installazione è migliorato grazie al ridimensionamento rispetto al nostro sensore di conducibilità convenzionale.
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