Sistema di monitoraggio chimico CS-1000

di concentrazionedi misura

Il CS-1000 consente di migliorare i processi di produzione dei semiconduttori grazie alla misurazione simultanea di tre parametri in soluzioni chimiche contenenti componenti a bassa concentrazione. HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. (di seguito "HORIBA Advanced Techno") ha rilasciato il nuovo CS-1000 Chemical Solution Solution. ltd. (di seguito "HORIBA Advanced Techno") ha presentato il nuovo sistema di monitoraggio delle soluzioni chimiche CS-1000. La serie di analizzatori CS, che misura in tempo reale la concentrazione delle sostanze chimiche utilizzate nei processi di produzione dei semiconduttori, ha soddisfatto le esigenze del settore per quasi 30 anni dal suo lancio nel 1995. Il CS-1000, un sistema autonomo che vanta prestazioni migliorate, consente di rilevare sostanze chimiche specifiche presenti in soluzioni chimiche in tracce (livello ppm*1) senza alcun pretrattamento, grazie a un algoritmo unico (in attesa di brevetto*2) che combina l'analisi dell'assorbanza,*3 della conducibilità e del pH. Consentendo la misurazione simultanea di tre parametri: concentrazione (fino a otto componenti chimici), conducibilità e pH, con un ciclo di aggiornamento di soli sei secondi*4 , il CS-1000 contribuisce al miglioramento del controllo qualità. Poiché richiede solo circa quattro ore*5 di manutenzione ogni sei mesi, il CS-1000 contribuisce a ridurre i tempi di inattività. Inoltre, il CS-1000 supporta la misurazione simultanea di due diverse soluzioni chimiche, contribuendo ad aumentare la produttività. Con la miniaturizzazione dei semiconduttori, i prodotti chimici utilizzati per la loro produzione sono diventati sempre più diversi, come quelli che contengono molti componenti o componenti in tracce. Ciò richiede un rigoroso controllo di qualità su più parametri