Apparecchio di misura a semiconduttore HE-480R(W)

di campitemperaturadi resistività

Un misuratore di resistenza specifica ideale per monitorare la purezza dell'acqua ultrapura utilizzata nei processi di pulizia. Misura con precisione l'acqua ultrapura durante i processi grazie all'integrazione del microprocessore. Ciò contribuisce al monitoraggio della purezza dell'acqua ultrapura utilizzata come acqua di pulizia finale per i wafer di silicio e altre applicazioni. Sulla base delle caratteristiche di temperatura dell'acqua ultrapura, il microprocessore calcola il coefficiente di compensazione della temperatura e lo converte automaticamente in una resistenza specifica a 25°C. L'utilizzo di un sensore di temperatura al platino (Pt1000Ω) come elemento di compensazione della temperatura consente di ottenere una compensazione della temperatura di alta precisione nell'intervallo da 0 a 100°C. Consente opzioni di compensazione della temperatura quali acqua pura, acqua ultrapura con impurità e compensazione della temperatura definita dall'utente, consentendo una compensazione della temperatura su misura per il liquido da misurare.