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... X‑Y‑Z), microscopio metallografico 200× con camera CCD.
- Stazione automatica a livello wafer
... >Progettazione pronta per integrazione con
sonda Hall, gaussmetro e supporto regolazione microscopio.
Configurazione specifica (sintesi)
- Assemblaggio principale: stazione DX1PS3
... l'identificazione automatica dei dispositivi difettosi sul wafer e la cancellazione completa di questi dispositivi dal wafer tramite ablazione. L'LCS-4000 è disponibile come sistema di configurazione motorizzato, semi- automatico ...
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